10月27日,第十二屆中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(CHInano2021)在江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)國際博覽中心正式開幕。本屆納博會集“會、展、賽、獎(jiǎng)、發(fā)布”于一體,聚焦納米新材料、微納米制造、第三代半導(dǎo)體等納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)化前沿與熱點(diǎn),打造全方位展覽展示平臺,推進(jìn)納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)高端交流、合作對接與創(chuàng)新發(fā)展。西人馬公司攜帶多款MEMS芯片和傳感器產(chǎn)品亮相第十二屆納博會,全方位展示了西人馬的MEMS產(chǎn)品線和技術(shù)研發(fā)實(shí)力。西人馬公司的展臺位于B館T27展位。
在開幕當(dāng)天的頒獎(jiǎng)儀式上,西人馬公司很榮幸地獲得了大會組委會頒發(fā)的“2020年中國半導(dǎo)體MEMS十強(qiáng)企業(yè)”獎(jiǎng)項(xiàng)。每年出爐的“中國半導(dǎo)體MEMS十強(qiáng)企業(yè)”評選是對國內(nèi)MEMS企業(yè)的一次大檢閱,該獎(jiǎng)項(xiàng)證明了國內(nèi)近期MEMS領(lǐng)域頭部企業(yè)的實(shí)力和價(jià)值,堪稱是MEMS企業(yè)獎(jiǎng)項(xiàng)中的“奧斯卡獎(jiǎng)”。
△Averie博士(左起第四人)代表西人馬領(lǐng)獎(jiǎng)
這是西人馬公司首次獲得這項(xiàng)殊榮,也是對西人馬公司多年來深耕MEMS傳感器領(lǐng)域所取得的成績的最好肯定和贊譽(yù)。西人馬公司將會再接再厲,繼續(xù)推進(jìn)中國MEMS傳感器技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步。
本屆納博會由科技部、中國科學(xué)院指導(dǎo),中國微米納米技術(shù)學(xué)會、中國國際科學(xué)技術(shù)合作協(xié)會主辦,是國內(nèi)規(guī)模最大的納米技術(shù)交流盛會,納博會所在的蘇州國際博覽中心展區(qū)面積達(dá)1.8萬平方米,吸引了1600多家科技企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)、行業(yè)協(xié)會到場。展會為期3天,其間將發(fā)布10場專業(yè)報(bào)告、258場行業(yè)報(bào)告。
西人馬公司十分重視參加本屆蘇州納博會的活動(dòng),為此打造了一個(gè)面積為36平方米的展臺,全方位展出了西人馬公司的芯片和傳感器產(chǎn)品,并向參展嘉賓和客戶詳細(xì)介紹了西人馬公司。
△西人馬展臺聚集著很多前來咨詢參觀的客戶
西人馬具備深厚的科研實(shí)力
西人馬公司擁有近千名員工,科研人員占比超過60%,其中95%以上為碩博士學(xué)歷。公司擁有500多項(xiàng)專利,并以每年30%以上的速度遞增,此外還有近300套工作說明及標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指引。西人馬遵循目前國際最高標(biāo)準(zhǔn)《航空AS9100D》和《醫(yī)療ISO13485》,具有ISO/IEC17025資質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室并取得CNAS認(rèn)證。西人馬公司的全部校準(zhǔn)人員都經(jīng)過ISO17025培訓(xùn)并取得資質(zhì)。
△西人馬通過的國際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
西人馬公司一直致力于先進(jìn)MEMS芯片及傳感器制造,擁有MEMS高端傳感器和芯片制造基地,包括各類先進(jìn)的MEMS芯片、功能材料芯片及傳感器的封裝與測試設(shè)備,客戶主要集中在能源、民用航空、軌道交通、精密儀器、工業(yè)自動(dòng)化、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域,同時(shí)為全球客戶提供MEMS芯片的OEM和ODM服務(wù)。
經(jīng)過多年的發(fā)展,西人馬已經(jīng)成為業(yè)內(nèi)知名的IDM芯片公司以及“端-邊-云”一體化解決方案服務(wù)商,具備芯片和傳感器材料合成、設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試全方位能力。
在芯片方面,西人馬開發(fā)了壓力系列、紅外系列、陀螺儀系列以及電荷放大器系列的芯片。其中的壓力芯片、紅外熱電堆芯片的高靈敏度、快速響應(yīng)和測量范圍寬的優(yōu)秀品質(zhì)在業(yè)界備受好評。
△西人馬展出的紅外熱電堆芯片
西人馬的傳感器產(chǎn)品包括加速度、壓力、位移、滑油品質(zhì)和陀螺等類型。其中壓電式加速度傳感器AYDV/AYDC等系列目前在飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)、風(fēng)力發(fā)電機(jī)組、智慧鋼廠等行業(yè)的振動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)中應(yīng)用較多。該系列傳感器有優(yōu)異的頻響特性和極佳的信噪比,并且體積小、重量輕、溫漂低,可以應(yīng)用于高端軸承、機(jī)翼、旋翼的監(jiān)測,可大大減少對被測系統(tǒng)的影響。
西人馬的邊緣計(jì)算通過自主設(shè)計(jì)的軟硬件平臺,以強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集能力和AI算法能力為依托來實(shí)現(xiàn),可以滿足不同行業(yè)或應(yīng)用場景下的自檢、故障偵測、隔離、以及恢復(fù)機(jī)制等需求。
塔斯云是西人馬結(jié)合機(jī)器神經(jīng)系統(tǒng)搭建的現(xiàn)代化數(shù)據(jù)密集型應(yīng)用平臺,以數(shù)據(jù)融合為基礎(chǔ),支持多種算法,可提供基于云計(jì)算、人工智能、運(yùn)算一體化、全量數(shù)據(jù)安全的一站式自助敏捷開發(fā)服務(wù),完美適用沖擊脈沖分析、能量譜分析、人臉識別、行為分析、故障檢測等多種場景。
△西人馬塔斯云平臺界面
西人馬公司具備硅基芯片及非硅基芯片設(shè)計(jì)、制造、封裝和測試全方位能力,基于這些先進(jìn)的核心技術(shù),西人馬既可以單獨(dú)給客戶提供高品質(zhì)的芯片產(chǎn)品,也可以提供相應(yīng)的模組和解決方案,利用西人馬先進(jìn)的傳感器、邊緣計(jì)算產(chǎn)品和云工具開發(fā)套件幫助客戶快速地搭建起具有監(jiān)測與控制功能的AIoT系統(tǒng)。
先進(jìn)的MEMS制程工藝和質(zhì)量管控
西人馬公司在納博會上展出了MCU芯片、AI SoC芯片、壓力芯片、加速度傳感器、壓力傳感器、滑油品質(zhì)傳感器、光學(xué)/紅外傳感器。其中,以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)開發(fā)的各類傳感器是西人馬公司重點(diǎn)展示和推廣的產(chǎn)品。
△西人馬展出的壓阻式壓力傳感器
西人馬公司MEMS芯片及傳感器生產(chǎn)線車間,配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和MEMS器件加工平臺,擁有6000平方米的高等級潔凈車間,具備深硅刻蝕、鍵合、光刻、原子力顯微鏡、掃描電鏡等先進(jìn)的制造、封裝與檢測設(shè)備,具備一體化的量產(chǎn)能力。
例如在MEMS芯片制程過程中,西人馬公司采用專業(yè)的刻蝕機(jī),使用電感耦合等離子體(ICP)來實(shí)現(xiàn)刻蝕,鈍化沉積和刻蝕交替進(jìn)行,快速形成一個(gè)垂直的側(cè)壁,具有高選擇比和高刻蝕速率的優(yōu)點(diǎn)。
△西人馬先進(jìn)的刻蝕機(jī)
另外,西人馬的光刻技術(shù)也處于比較先進(jìn)的水平。西人馬公司引進(jìn)了ASML光刻機(jī)以及日本的自動(dòng)涂膠機(jī)和顯影機(jī)。光刻機(jī)是將涂完膠的晶圓通過曝光將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移到Wafer表面。最后經(jīng)過顯影,在Wafer表面形成最后的圖形。而自動(dòng)涂膠機(jī)的作用是將光刻膠均勻涂到晶圓表面上,以方便后面的曝光顯影。
西人馬公司利用掃描電子顯微鏡(SEM)對MEMS器件關(guān)鍵工藝的微觀形態(tài)進(jìn)行測試、分析,實(shí)現(xiàn)SEM對MEMS的有效測量和工藝驗(yàn)證。而原子力顯微鏡(AFM)是利用微懸臂系統(tǒng)和放大臂上面的細(xì)小探針與被測物體之間的原子相互作用來進(jìn)行檢測,它的分辨率可以達(dá)到原子級別。
西人馬公司十分重視對質(zhì)量品質(zhì)的管控。以MEMS壓阻式壓力傳感器為例,通過高精度壓力源,再通過高精度的直流電源,可以測量到在不同的壓力源下產(chǎn)品的各種特性,包括傳感器的靈敏度、零位輸出、滿量程輸出。另外,還可以計(jì)算出傳感器的線性、遲滯、重復(fù)性,最后可以得到傳感器的綜合精度。目前西人馬壓力傳感器的綜合精度可以達(dá)到±0.05%,已經(jīng)達(dá)到國際水準(zhǔn)。
如果您想進(jìn)一步了解西人馬公司或?qū)ふ液献魃虣C(jī),歡迎在10月27-29日蒞臨蘇州國際博覽中心B館T27展位,西人馬期待您的光臨。
