本月初，全球最大的光刻機(jī)生產(chǎn)商ASML在德國(guó)的工廠發(fā)生火災(zāi)，引發(fā)半導(dǎo)體行業(yè)擔(dān)心。臺(tái)積電作為ASML光刻機(jī)的最大客戶也回應(yīng)了此事，他們表示不擔(dān)心會(huì)對(duì)2022年生產(chǎn)有什么影響。
在日前的財(cái)報(bào)會(huì)上，臺(tái)積電高層回應(yīng)了ASML工廠火災(zāi)的問題，稱沒有理由擔(dān)心這場(chǎng)火災(zāi)會(huì)對(duì)2022年的生產(chǎn)計(jì)劃產(chǎn)生影響。
臺(tái)積電強(qiáng)調(diào)，該公司的產(chǎn)能增長(zhǎng)，包括EUV光刻在內(nèi)的工藝都可以按計(jì)劃完成，不擔(dān)心ASML的履約能力。
目前臺(tái)積電的7nm及以下工藝產(chǎn)能都需要EUV光刻機(jī)，根據(jù)財(cái)報(bào)透露的信息，在第四季度，臺(tái)積電7nm制程芯片的出貨量占到了總晶圓出貨量的27%，而5nm制程芯片占比則為23%。
至于ASML，根據(jù)他們之前的信息，雖然評(píng)估是否影響今年的光刻機(jī)交貨還有點(diǎn)早，但這次事件影響的主要是EUV光刻機(jī)生產(chǎn)，DUV光刻機(jī)不受影響。
EUV光刻機(jī)是生產(chǎn)7nm以下工藝的關(guān)鍵設(shè)備，ASML是全球唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，每臺(tái)售價(jià)1億歐元，將近10億人民幣，去年交付了35臺(tái)EUV光刻機(jī)，今年計(jì)劃交付55臺(tái)EUV光刻機(jī)，三星、臺(tái)積電及Intel是主要的客戶。
