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美光科技將引入極紫外光刻機(jī),2024 年部署到部分工藝節(jié)點(diǎn)

   時(shí)間:2021-07-02 17:29:41 來源:TechWeb作者:海藍(lán)編輯:星輝 發(fā)表評(píng)論無障礙通道

7 月 2 日消息,據(jù)國外媒體報(bào)道,在 2021 財(cái)年第三財(cái)季的財(cái)報(bào)分析師電話會(huì)議上,美光科技 CEO 兼總裁 Sanjay Mehrotra 透露,他們將引入極紫外光刻機(jī)。

從 Sanjay Mehrotra 在財(cái)報(bào)分析師電話會(huì)議上透露的消息來看,美光科技是計(jì)劃 2024 年,在部分工藝節(jié)點(diǎn)部署極紫外光刻機(jī),隨后擴(kuò)大到更多工藝節(jié)點(diǎn)。

Sanjay Mehrotra 還表示,他們一直在關(guān)注極紫外光刻機(jī)的進(jìn)展,他們其實(shí)也在評(píng)估引入極紫外光刻機(jī)。

事實(shí)上,美光科技此前就曾表示他們將引入極紫外光刻機(jī)。Sanjay Mehrotra 在會(huì)上就提到,他們?cè)啻伪硎?,?dāng)他們認(rèn)為極紫外光刻機(jī)平臺(tái)及生態(tài)系統(tǒng)變得更成熟的時(shí)候,他們就將在適當(dāng)?shù)臅r(shí)間點(diǎn)引入極紫外光刻機(jī)。

值得注意的是,美光科技并不是首家引入極紫外光刻機(jī)的存儲(chǔ)芯片制造商,SK 海力士就已在他們的 M16 工廠安裝極紫外光刻機(jī),在 2 月份就開始試生產(chǎn) 1anm 的 DRAM,預(yù)計(jì)在今年 7 月份開始大規(guī)模生產(chǎn)。

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