近日，大日本印刷（DNP）公司宣布了一項(xiàng)重要技術(shù)突破，成功在其生產(chǎn)的光掩模上繪制出支持2納米及以下極紫外（EUV）工藝的精細(xì)圖案。這一成果標(biāo)志著DNP在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力達(dá)到了新的高度。
據(jù)悉，DNP在本月早些時(shí)候正式對(duì)外公布了這一消息。在現(xiàn)代光刻工藝中，光掩模扮演著至關(guān)重要的角色，它是將設(shè)計(jì)好的電路圖案轉(zhuǎn)移到晶圓上的關(guān)鍵工具。此次DNP所繪制的精細(xì)圖案，不僅在線條尺寸上實(shí)現(xiàn)了顯著縮小，還在復(fù)雜度更高的曲線圖案上實(shí)現(xiàn)了同比例的尺寸壓縮，這為生產(chǎn)更高效、更先進(jìn)的邏輯芯片提供了有力支持。
DNP的光掩模技術(shù)進(jìn)展并非一蹴而就。早在2023年，該公司就已經(jīng)成功開發(fā)出了適用于3納米工藝的光掩模。而此次為了滿足2納米及以下工藝的需求，DNP在技術(shù)上進(jìn)行了全面升級(jí)，不僅在直線圖案尺寸上較3納米世代產(chǎn)品縮小了20%，還在曲線圖案的復(fù)雜度上實(shí)現(xiàn)了更高的技術(shù)要求。
通過對(duì)比圖可以看出，DNP此次繪制的精細(xì)圖案在直線和曲線方面都展現(xiàn)了極高的精度。直線的邊緣更加平滑，曲線的輪廓也更加清晰，這為后續(xù)的曝光和芯片制造提供了更加可靠的保障。
DNP表示，此次成功繪制精細(xì)圖案，意味著其光掩模產(chǎn)品已經(jīng)滿足了2納米及以下名義制程邏輯半導(dǎo)體的生產(chǎn)需求。這一成果不僅為DNP在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域樹立了新的里程碑，也為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的動(dòng)力。
DNP還完成了支持High NA EUV光刻的光掩模的初步評(píng)估，并已向生態(tài)合作伙伴出樣。這一舉措將進(jìn)一步推動(dòng)High NA EUV光刻技術(shù)的發(fā)展，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來更加先進(jìn)的制造技術(shù)和更高的生產(chǎn)效率。
DNP還透露了其未來的量產(chǎn)計(jì)劃。該公司計(jì)劃于2027財(cái)年（起始于同自然年4月）實(shí)現(xiàn)2納米光掩模的量產(chǎn)?？紤]到DNP與Rapidus的合作關(guān)系，這一新品預(yù)計(jì)將用于Rapidus計(jì)劃于2025年4月啟動(dòng)的2納米試產(chǎn)線。這一合作將進(jìn)一步鞏固DNP在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的領(lǐng)先地位，并為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。
