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ASML新一代EUV光刻機上路:單價超26億

   時間:2022-05-20 15:48:57 來源:快科技作者:萬南編輯:星輝 發(fā)表評論無障礙通道

EDA和光刻機可以說是芯片研發(fā)、生產(chǎn)設(shè)備皇冠上的明珠。

最新消息稱,荷蘭ASML正在研發(fā)新款光刻機,價值高達4億美元(約合26億元人民幣),雙層巴士大、重超200噸。

原型機預(yù)計2023年上半年完工,2025年首次投入使用,2026年到2030年主力出貨。

這款機器應(yīng)該指的就是High-NA EXE:5200(0.55NA),Intel是全球第一個下單的公司。所謂High-NA也就是高數(shù)值孔徑,2nm之后的節(jié)點都得依賴它實現(xiàn)。

在ASML公布的今年一季度財報中,EXE:5200已經(jīng)訂出去不止一臺。按計劃,第一臺原型試做機2023年開放,預(yù)計由imec(比利時微電子研究中心)裝機,2025年后量產(chǎn),第一臺預(yù)計交付Intel。

據(jù)了解,實際上,ASML的EUV光刻機非常龐大,現(xiàn)售的0.33NA EUV光刻機擁有超10萬零件,需要40個海運集裝箱或者4架噴氣貨機才能一次性運輸完成,單價1.4億美元左右。

ASML新一代EUV光刻機上路:單價超26億


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