12 月 8 日，有投資者向晶瑞電材提問，晶瑞電材是否擁有 KrF 光刻機? 是否具備批量生產(chǎn) KrF 光刻膠的條件?
晶瑞電材表示，公司近期已購得 KrF 光刻機一臺，可用于 KrF 光刻膠的曝光測試，同時公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設中。
關于公司的主導產(chǎn)品，晶瑞電材表示，公司的主導產(chǎn)品包括光刻膠及配套材料、超凈高純試劑、鋰電池材料和基礎化工材料等，廣泛應用于半導體、新能源、基礎化工等行業(yè)，主要應用到下游電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料制備等工藝環(huán)節(jié)。公司專業(yè)從事微電子化學品的產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司經(jīng)過多年研發(fā)和積累，超凈高純試劑主要產(chǎn)品達到國際最高純度等級(G5)，打破了國外技術壟斷，制定了多項行業(yè)標準;被中國電子材料行業(yè)協(xié)會評為“中國電子化學品十強企業(yè)”，光刻膠產(chǎn)品規(guī)模化生產(chǎn)近 30 年，達到國際中高級水準，是國內最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一。
根據(jù)官方資料，晶瑞電材子公司蘇州瑞紅于 1993 年開始光刻膠生產(chǎn)，是國內最早規(guī)模量產(chǎn)光刻膠的少數(shù)幾家企業(yè)之一，目前能夠能夠提供紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分 g 線、i 線正膠等高端產(chǎn)品，擁有達到國際先進水平的光刻膠生產(chǎn)線，實行符合現(xiàn)代微電子化學品要求的凈化管理，配備了國內一流的光刻膠檢測評價裝置。承擔并完成了國家 02 重大專項“i 線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目，i 線光刻膠已向國內頭部的知名大尺寸半導體廠商供貨，KrF (248nm 深紫外) 光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達到了 0.25~0.13μm 的技術要求，建成了中試示范線。公司于 2020 年下半年購買 ASML XT 1900 Gi 型光刻機設備，ArF 高端光刻膠研發(fā)工作正式啟動，旨在研發(fā)滿足 90-28nm 芯片制程的 ArF (193nm) 光刻膠。與半導體行業(yè)客戶包括中芯國際、華虹宏力、上海積塔、長江存儲、士蘭微、合肥長鑫、揚杰科技等建立了長期合作伙伴關系。(校對 / 日新)
