7 月 22 日消息 本月中旬，合肥至微項目當日正式量產(chǎn)，這是中國國內(nèi)首個立項又最先量產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生工廠。
所謂“晶圓再生”，指的是通過去除損耗控擋片表面的雜質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達到新片的標準，實現(xiàn)其循環(huán)再利用，進而為企業(yè)節(jié)約大量成本。
據(jù)介紹，合肥至微項目總投資近 10 億元，2020 年 3 月正式開工，2020 年 12 月項目設(shè)備基本搬入調(diào)試，2021 年 3 月，進入試生產(chǎn)階段，至 6 月進入量產(chǎn)階段。
合肥量產(chǎn)的這一晶圓再生項目以 14 納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條投產(chǎn)的 12 英寸晶圓再生產(chǎn)線。該項目全面達產(chǎn)后，可形成每年 168 萬片晶圓再生及 120 萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值可超過 6 億元。
目前我國在晶圓制造領(lǐng)域中完成了 8 英寸晶圓的自給自足，與硅芯片制程工藝的定義標準不同，一般來說，規(guī)格尺寸越大的晶圓，生產(chǎn)難度越高。
合肥至微半導(dǎo)體是至純科技旗下的一家負責“半導(dǎo)體晶圓再生和部件再生”項目的載體。至純科技前不久量產(chǎn)成功的 28 納米濕法清洗設(shè)備已經(jīng)交付給中芯國際、華虹集團使用，有關(guān) 14 納米、7 納米制程的清洗設(shè)備將于 2022 年交給華為、中芯國際等國產(chǎn)廠商進行客戶認證。
