【ITBEAR科技資訊】7月1日消息，據(jù)ITBEAR科技資訊了解，光刻機(jī)領(lǐng)導(dǎo)者ASML公司近日回應(yīng)了關(guān)于其旗下DUV光刻機(jī)出口認(rèn)可的問題，進(jìn)一步澄清了相關(guān)規(guī)定和時(shí)間表。
根據(jù)ASML的表態(tài)，出口管制條例僅適用于一些最新型號(hào)的DUV光刻機(jī)，特別是包括TWINSCAN NXT:2000i及其后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)。而EUV光刻機(jī)在之前已經(jīng)受到了限制，其他類型的光刻機(jī)發(fā)運(yùn)并未受到管控。
ASML強(qiáng)調(diào)，這一管制規(guī)定將于9月1日正式生效，而公司已經(jīng)積極向相關(guān)部門提交了許可申請(qǐng)，以確保業(yè)務(wù)的正常進(jìn)行。因此，在9月1日之前發(fā)貨的DUV光刻機(jī)不受影響，業(yè)界此前猜測(cè)的TWINSCAN NXT:1980Di型號(hào)也不會(huì)受到影響。
ASML的高管曾公開表示，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)必須通力合作，才能建立起完全自主的產(chǎn)業(yè)鏈。他們強(qiáng)調(diào)，即使不是不可能，但實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)也會(huì)極其困難。
此次ASML對(duì)DUV光刻機(jī)出口認(rèn)可問題的回應(yīng)引起了廣泛關(guān)注。業(yè)界對(duì)相關(guān)許可申請(qǐng)的進(jìn)展持續(xù)關(guān)注，希望ASML能夠順利獲得相關(guān)許可，以保障行業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展。
