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晶瑞電材:ArF(193)高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動

   時間:2021-12-16 11:04:34 來源:愛集微作者:在野編輯:星輝 發(fā)表評論無障礙通道

12 月 16 日消息,近日,晶瑞電材在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時表示,公司高端 KrF(248)光刻膠已完成中試,建成了中試示范線,已進(jìn)入客戶測試階段。

目前 ArF(193)高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動,已完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺階儀等設(shè)備購置,其中 ASML1900Gi 型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。

晶瑞電材辦公樓

據(jù)悉,晶瑞電材近期已購得 KrF 光刻機(jī)一臺,可用于 KrF 光刻膠的曝光測試,同時公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。此前,公司已經(jīng)購得用于負(fù)膠、g 線、i 線、ArF 等 4 臺光刻機(jī),再加之此次購得的 KrF 光刻機(jī),公司已經(jīng)到位 5 臺光刻機(jī)。

晶瑞電材指出,公司 3 萬噸電子級硫酸產(chǎn)線已于今年上半年順利通車,經(jīng)試生產(chǎn)調(diào)試,產(chǎn)品金屬雜質(zhì)含量低于 10ppt,達(dá)到 G5 級水平,品質(zhì)已達(dá)全球同行業(yè)第一梯隊水平,產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)可以履蓋目前全部先進(jìn)集成電路技術(shù)節(jié)點(diǎn)的要求。目前,公司正在積極開展客戶論證測試,市場反應(yīng)良好?,F(xiàn)有 3 萬噸硫酸項目的順利建設(shè)為二期 6 萬噸硫酸項目的順利實(shí)施提供了基礎(chǔ)和保障。二期 6 萬噸電子級硫酸項目已啟動,項目的建設(shè)期為 12 個月,當(dāng)前已取得環(huán)評審批。

新能源方面,晶瑞電材認(rèn)為,公司是一家微電子材料的平臺型高新技術(shù)企業(yè),圍繞泛半導(dǎo)體材料和新能源材料兩個方向,努力打造為集研發(fā)、生產(chǎn)、檢測、銷售、技術(shù)支持于一體的國際知名微電子化學(xué)品制造企業(yè),公司鋰電池材料主要產(chǎn)品包括 NMP、SBR、CMCLi、PAA、電解液等。當(dāng)前公司鋰電池材料產(chǎn)品產(chǎn)銷兩旺,根據(jù)公司戰(zhàn)略發(fā)展規(guī)劃,為進(jìn)一步推進(jìn)公司產(chǎn)能布局,滿足市場迫切需求,鞏固行業(yè)領(lǐng)先地位,公司全資子公司晶瑞新能源擬使用自籌資金投資建設(shè)年產(chǎn) 5 萬噸 NMP 項目。

目前,晶瑞(湖北)微電子材料項目一期目前正在設(shè)備安裝調(diào)試階段。

受益于我國半導(dǎo)體材料行業(yè)國產(chǎn)替代進(jìn)程提速,下游芯片廠商需求增長,當(dāng)前公司主導(dǎo)產(chǎn)品半導(dǎo)體級光刻膠及配套材料、超凈高純試劑、鋰電池材料等產(chǎn)銷兩旺,未來隨著公司 KrF 光刻膠測試完成并逐步量產(chǎn)、ArF 光刻膠研發(fā)成功并最終量產(chǎn),以及公司南通、陜西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放,有望成為公司新的利潤增長點(diǎn)。

未來,公司將持續(xù)發(fā)揮主營業(yè)務(wù)的優(yōu)勢,圍繞泛半導(dǎo)體和新能源材料方向,繼續(xù)通過內(nèi)生增長和外延并購,將公司打造成產(chǎn)品種類全、技術(shù)水平高,具有國際競爭力的微電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)。關(guān)于并購方向,公司依然圍繞主營業(yè)務(wù)開展。

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