IBM公司近日宣布其名下的芯片制造廠中將停止使用全氟辛烷磺?；衔铮≒FOS）和全氟辛酸（PFOA）兩種有毒有害化合物。多年前，在歐盟以及其它 一些國(guó)家的環(huán)保部門出臺(tái)限制使用這兩種化合物的法規(guī)之后，美國(guó)環(huán)保署也出臺(tái)了限制在消費(fèi)級(jí)產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中使用這兩種化合物的法規(guī)，這兩種化合物一般用于 防污和防潮處理。
不過(guò)在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中，仍允許使用這兩種化合物，半導(dǎo)體制造的光刻和蝕刻工步需要少量使用這兩種化合物。經(jīng)過(guò)10多年的努力，IBM終于找到了這兩種有毒化合物的替代用品。
IBM公司主管微電子事物的總經(jīng)理Michael Cadigan稱：“開發(fā)這類化合物替代品的工作是一項(xiàng)相當(dāng)艱難的任務(wù)。我們需要驗(yàn)證采用新配方后的每一個(gè)制造環(huán)節(jié)都不會(huì)出問題，而且還不能影響到我們產(chǎn)品的質(zhì)量和供貨能力?！彼€介紹說(shuō)：“由于IBM與多家廠商結(jié)成了開發(fā)聯(lián)盟，因此至少還有五個(gè)國(guó)家里的多家半導(dǎo)體廠商都可以使用我們這次開發(fā)出來(lái)的無(wú)毒化合物進(jìn)行生產(chǎn)?！?/P>
