IBM公司近日宣布其名下的芯片制造廠中將停止使用全氟辛烷磺酰基化合物（PFOS）和全氟辛酸（PFOA）兩種有毒有害化合物。多年前，在歐盟以及其它 一些國家的環(huán)保部門出臺(tái)限制使用這兩種化合物的法規(guī)之后，美國環(huán)保署也出臺(tái)了限制在消費(fèi)級(jí)產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中使用這兩種化合物的法規(guī)，這兩種化合物一般用于 防污和防潮處理。
不過在半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中，仍允許使用這兩種化合物，半導(dǎo)體制造的光刻和蝕刻工步需要少量使用這兩種化合物。經(jīng)過10多年的努力，IBM終于找到了這兩種有毒化合物的替代用品。
IBM公司主管微電子事物的總經(jīng)理Michael Cadigan稱：“開發(fā)這類化合物替代品的工作是一項(xiàng)相當(dāng)艱難的任務(wù)。我們需要驗(yàn)證采用新配方后的每一個(gè)制造環(huán)節(jié)都不會(huì)出問題，而且還不能影響到我們產(chǎn)品的質(zhì)量和供貨能力?！彼€介紹說：“由于IBM與多家廠商結(jié)成了開發(fā)聯(lián)盟，因此至少還有五個(gè)國家里的多家半導(dǎo)體廠商都可以使用我們這次開發(fā)出來的無毒化合物進(jìn)行生產(chǎn)?！?/P>
